Apparatus for applying patterning film and vacuum deposition apparatus

パターニング膜塗布装置および真空蒸着装置

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture a plate for forming an oil film by using a rigid material and to constitute the whole of an apparatus for applying patterning films with a rigid material so as to enhance the durability and to continuously form various oil masking patterns stably. SOLUTION: The apparatus for applying patterning films is equipped with: an inner pipe 2 having an opening part 6 for passing oil vaporized for forming a patterning film in the inner pipe 2; an outer pipe frame 10 which is provided to cover the outer periphery of the inner pipe 2 and in which opening parts 7 are provided; and rigid nozzle plates 4 which are provided so as to be each superposed with respective opening parts 7 of the outer pipe frame 10 and each have a through-hole group 9 comprising a plurality of through-holes 5 for spraying vaporized oil. The shape or alignment pattern of the through-holes 5 constituting the through-hole group 9 is made different in each rigid nozzle plate 4. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
【課題】オイル膜を形成するためのプレートをリジッドな素材で作製することを可能にし、パターニング膜塗布装置を全てリジッドなもので構成することにより、耐久性を向上させ、安定して多種類のオイルマスキングパターンを連続して形成させる。 【解決手段】内管2でパターニング膜を形成するため気化されたオイルを通過させる開口部6を設けた内管2と、内管2の外周を覆うようにして設けられ、かつ開口部7が設けられた外管フレーム10と、外管フレーム10の開口部7と重なるようにして設けられ、かつ気化したオイルを噴霧する透孔5が複数個設けられた透孔群9を具備するリジッドノズルプレート4とを備える。透孔群9を成す透孔5の形状または配列パターンを、各リジッドノズルプレート4においてそれぞれ異ならせる。 【選択図】図1

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Patent Citations (3)

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