Multi-channel plasma accelerator



<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multi-channel plasma accelerator that has plural channels and can uniformize the plasma density. <P>SOLUTION: A multi-channel plasma accelerator comprises: a center cylinder that is formed along a cylindrical surface having a blocked top surface and has a first channel in its cylindrical interior; and a first outer cylinder and a second outer cylinder formed along cylindrical surfaces, which are coaxial with the center cylinder and have different diameters. In order to form a second channel in the space between the first and second outer cylinders, the first outer cylinder has a diameter greater than that of the center cylinder, and the second outer cylinder has a diameter greater than that of the first outer cylinder. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
【課題】 多チャネルプラズマ加速装置を提供する。 【解決手段】 上面が塞がっている円柱状の面に沿って形成され、円柱状の内部に第1チャネルを形成する中央シリンダと、中央シリンダと同じ同心軸を有する相異なる直径の円柱状の面に沿って形成される第1外部シリンダおよび第2外部シリンダと、を含み、第1外部シリンダおよび第2外部シリンダとの間の空間に第2チャネルを形成するため第1外部シリンダの直径は中心シリンダの直径より大きく形成され、第2シリンダの直径は第1外部シリンダの直径より大きく形成される。 【選択図】 図2




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Patent Citations (2)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2004200169-AJuly 15, 2004Samsung Electronics Co Ltd, 三星電子株式会社Electromagnetic induction accelerator
    JP-H09237698-ASeptember 09, 1997Motorola Inc, モトローラ・インコーポレイテッド誘導結合プラズマ・リアクタとその方法

NO-Patent Citations (0)


Cited By (2)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2007095678-AApril 12, 2007Samsung Electronics Co Ltd, 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd.プラズマ加速器
    JP-4519115-B2August 04, 2010三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd.プラズマ加速器及びウエハエッチング装置